YXLON FF20 CT

小型部品向けの工業用高分解能CT検査システム

YXLON FF20 CTは、究極の高分解能によってトップレベルの3D検査を実現するコンピュータ断層(CT)検査システムです。エレクトロニクス産業や材料工学分野において、研究開発、欠陥分析、プロセスの監視、CT計測などで必要になる小型部品や微細構造の検査に最適です。
  • 新型の水冷式190kVトランスミッションX線管を搭載し、150nmまでの微細構造を鮮明な2D画像で取得
  • グラナイト(花崗岩)ベースのマニプレーターにより、温度を安定化
  • 直感的で簡単なタッチパネル操作
  • ヘリカルCTスキャン、水平方向に拡大された観察視野、仮想回転軸、Quick/QualityScanの標準搭載など、さまざまなアプリケーションに柔軟に対応
  • MPE~SD~= 3.9 μm + L/75の精密計測(VDI 2630-1.3規格の球間距離の偏差で計測)

システムの機能

FF20 CTは、コンパクト設計の高分解能コンピュータ断層検査システムであり、小型/微細部品の検査に最適です。

  • エレクトロニクス部品(SMDなど)
  • IC部品
  • 新素材のプローブ(金属、プラスチック、CFRPなど)
  • マイクロシステム、MEMS、MOEMS
  • 医療用品(中空針など)

FF20 CTは、熱膨張の低減、正確なマニプレーション、優れた再現性と測定機能を目的に、革新的なコンセプトをベースに設計されたシステムです。

新型の190kVトランスミッションX線管を内蔵し、150nmまでの微細構造を鮮明にX線撮影できます。システムの操作性も高く、2つのタッチパネルからアイコンを使って簡単に操作できます。また、高度なユーザ支援機能も搭載されています。たとえばサンプル衝突防止機能は、試料の外形を360°の全方向から自動計測することで、X線管と検出器の衝突を防止します。

HeliExtend は、ヘリカルCTスキャンおよび再構成を実行する機能です。このスキャン法により、試料が縦長形状であっても、上から下までを高倍率で拡大した鮮明な画像の取得が可能になります。

仮想回転軸(FlexCenter)は、スキャンの回転中心の選択を可能にする機能です。観察が容易になり、検査にかかる時間を短縮できます。また、ROI(関心領域)が物理的な回転中心から外れても、試料の位置を調整する必要がありません。

システムの稼働状態を示すさまざまなパラメータが自動的にモニタされ、監視結果が「信号機」のようなグラフィックで表示されます。また、システムの稼働状態やCT検査(および再構成プロセス)の進捗情報にリモートアクセスし、状況を把握することも可能です。

製品仕様

サンプルの直径 150 mm(5.9インチ)
サンプルの高さ 300 mm(11.8インチ)
最大サンプル重量 20 kg
システム寸法(W/D/H) 2,400 x 950 x 2,220 mm
X線管 FeinFocus® 190 kV ナノフォーカス
CTモード QuickScan®、QualityScan、コーンビームCT、ヘリカルCT、仮想回転軸、FoV拡張、ボリュームクロップ
マニピュレータ グラナイトベース、アクティブエアダンピング、6軸、ワイドFDDレンジ

お問い合わせ

Trokut Test d.o.o.NDTAv. V. Holjevca 20ZagrebCroatiaMr. Himzo MusemićWebsitehimzo.musemic@trokuttest.com+385 1 7789848
YXLON International GmbHElectronicsEssener Bogen 1522419 HamburgGermanyMr. Fabian Eickefabian.eicke@hbg.yxlon.com+49 40 52729139